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 FOX01型石墨舟清洗机主要用于太阳能行业清洗管式PECVD石墨舟。适用于长度小于1500mm石墨舟的清洗。 |
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| 先用HF酸浸泡清洗，再用纯水漂洗，然后用压缩空气吹干。 |
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| 型号 |
FOX01 |
| 清洁剂 |
HF |
| 压缩空气 |
0.5～0.7Mpa |
| 外型尺寸 |
3800×1410×1950mm |
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1. 设备分有两个清洗槽，满足HF浸泡式清洗，人工装取工件，顶部有吸风罩。
2. 有4只安装石墨舟片子的磁白色PP篮筐。
3. 气动隔膜泵实现A槽与B槽酸循环，实现清洗功能。 |
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