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| 高质量求生存、低成本占市场、讲诚信创品牌、重人才争发展 |
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FOX01型全自动硅片甩干机专门用于硅片冲洗、离心甩干、烘干太阳能硅片，共六个工作腔，可用于103（3″），125（5″），156（6″）
硅片规格，具体工位数量及硅片规格可根据客户要求订做。 |
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喷淋旋转冲洗→氮气加热离心烘干
整个工作时间一般只需5～6分钟
喷淋时间可调，旋转速度可调，加热温度可调，加热时间可调 |
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| 型号 |
工位 |
硅片规格 |
旋转速度 |
外形尺寸 |
功率 |
氮气压力 |
去离子水压力 |
| FOX01 |
六工位 |
103（3″），125（5″），156（6″） |
0～900r/min |
1290mm×1250mm×970mm |
7KW |
0.3Mpa |
0.3Mpa |
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1.采用PLC全自动控制，电机变频调速，所有工艺参数可按使用要求设定。
2.采用彩色液晶触摸屏，液晶屏温控仪。
3.特制不锈钢喷头和气液控制系统，全自动切换。
4.油压缸推动开门、关门，安全平稳可靠。
5.油浴炉加热氮气，升温快，温度实时监控，并有过热保护。
6.主轴与内桶采用SUS304胀套连接，精度高，安全可靠。
7.采用多楔带传动，有辅助加热系统。
8.腔体电化学抛光，有辅助加热系统。
9.融合欧洲同类产品先进技术。 |
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